Overview
場效電晶體 (Field-effect transistor,FET) 的導通電流,將因施加電場的不同而有所變化,屬於電壓控制的裝置。金屬氧化半導體 FET (MOSFET) 為最常見的 FET,用於積體電路 (IC) 與高速切換應用中。MOSFETS 可分為增強型 (Enhancement-type) 或空乏型 (Depletion-type),並依特性區分為 N-channel 或 P-channel 裝置。
由於 MOSFET 僅需極低的電流強度即可作業,因此需要高解析度的裝置進行測試。此篇文件將說明 MOSFET 的基本概念,並針對 N-channel 增強型 MOSFET (NMOS) 提供 NI 解決方案。
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NMOS 電晶體基本概念

圖 1.金屬氧化電晶體
NMOS 電晶體具備 3 個端點:Gate、Drain、Source;最後為基體 (Body)。Source 與 Body 均接地之後,裝置本身即可運作;換句話說,根據電晶體 Gate (VGS) 與 Drain (VDS) 所施加的電壓,進而產生汲電流 (Drain current,iD)。NMOS 電晶體均具有 1 組臨界電壓 (Threshold voltage,Vt),為穩定且專屬的電壓。若要電晶體進行作業,則 VGS 必須大於 Vt。一旦滿足此條件,則於 Gate 與 Drain 所施加的電壓,即可用以控制汲電流。VGS、VDS,與 iD 之間的關係,可分為 3 個部分:
- Cut-off Region:在此區域中,並無任何通道具備 VD (意即 iD = 0)。(VGS < Vt)
- Ohmic/Triode Region:
NMOS 電晶體則已啟動,且不為「截止 (Pinched off)」狀態。意即 VDS 的數值將影響 iD 的數值 (VGS > Vt 且 VDS ≤ VGS – Vt)。圖 2 則顯示此區域中 VGS、VDS,與 iD 的關係。請注意 iD 與 VDS 之間的線性關係。在此區域中,iD 將完全符合歐姆法則 (Ohms Law),而 NMOS 電晶體則如受電壓控制的電阻器而產生反應。

圖 2. iD 對 VDS (Ohmic/Triode Region)
3. Active/Saturation Region:由於 VD 所增加的數值,並不會對 iD (VGS > Vt and VDS > VGS – Vt) 造成影響,因此通道屬於
「Pinched off」狀態。在飽和 (Saturation) 區域中,汲電流強度直接受到 VGS > Vt 的數值所影響。


圖 3. iD 對. VDS (左); iD 對. VGS (右)
若工程師要於系統中建置 NMOS 電晶體,則此 2 組特性描述曲線將提供重要資訊,以了解特定單元於特定作業區域是否為 Pass/Fail。圖 3 則顯示從 Triode 區域轉為 Saturation 區域的 VGS 離散值;還有 NMOS 電晶體在 Saturation 區域中,VGS 發生變化時相對應 iD。
電晶體測試的硬體設定
當要測試 NMOS 並擷取特性描述區現實,必須同時對 VGS 與 VD 供應電流,且使用另 1 組裝置量測 iD。此類應用往往選擇電源量測單位 (SMU) 進行量測,可同時供應並掃瞄電壓,以量測所產生的電流。

NI PXI-4130 為單槽式 3U PXI 模組,屬於可程式化的高功率電源量測單位 (SMU)。NI PXI-4130 具備 1 個具隔離功能的 SMU 通道,可提供 4 個象限的 ±20 V 輸出,並整合遠端 (4 線式) 感測功能。透過最低 1 nA 量測解析度的 5 組電流範圍,此精確電源供應器適於設計檢驗與半導體的測試應用,包含需要程式化電源供應 (Sourcing)、掃頻 (Sweeping),與高精確度的量測。PXI-4130 亦具備公用通道,具有 16 位元的設定點 (Setpoint) 與量測解析度,可提供電流或電壓。此輸出將提供最高 6 V 與 1 A,可做為 SMU 通道的補償式電源供應;僅需單一模組即可執行電晶體的特性描述 (Characterization) 應用,大幅降低複雜度、儀器體積,與相關成本。

圖 4.單一 NI PXI-4130 Power SMU 進行電晶體特性描述 (Characterization) 作業的連結圖。
雖然 NI PXI-4130 Power SMU 可為多種 IV 特性描述應用的完整解決方案,但仍有某幾款 NMOS 電晶體僅需極低的 Saturation 程度即可作業,甚至需要 1nA 以下的量測作業。在此情況下,工程師可使用高解析度的 DMM,如 PXI-4071 FlexDMM 可於 1μA 的量測範圍中達到 1 pA (10-12) 解析度,因此可量測極小的 iD 值。在量測極小電流時所必須注意的 1 點,即是系統的環境雜訊。若要將雜訊降至最低,則可使用合適的抗雜訊連接線、抗雜訊外殼,與接地裝置。
擷取特性描述曲線的軟體解決方案
除了儀控硬體之外,IV 特性描述應用的重要考量,即是軟體環境。雖然NI PXI-4130 Power SMU 可搭配使用多種程式語言 (包含 C++ 與 Visual Basic),但 NI 仍推薦使用 LabVIEW 圖形化程式設計環境,或 LabVIEW SignalExpress 互動式量測平台,且均提供簡單易用的顯示功能。
NI LabVIEW SignalExpress
LabVIEW SignalExpress 為互動式量測軟體,不需進行程式設計即可擷取、分析,並呈現資料。若要於 LabVIEW SignalExpress 中執行 IV 特性描述作業,僅需針對 1 組步進插入 2 組掃瞄,以介接 NI PXI-4130 硬體即可。透過此環境,可迅速入門並執行量測與顯示作業。下圖即為 LabVIEW SignalExpress 環境中所執行的 IV 掃瞄。

圖 5. LabVIEW SignalExpress 免程式設計環境中的 iD 對 VDS
NI LabVIEW
在自動化測試應用中,往往必須透過程式設計的方式控制硬體,並以使用者定義的方式分析資料。在這些需求之下,NI 推薦使用 LabVIEW 圖形化程式設計環境進行更客制化的量測、分析,與顯示作業。為了可順利上手,NI PXI-4130 Power SMU 出貨時即隨附了 NI-DCPower 硬體驅動程式,內建多組預先建立的範例程式,亦包含 IV 特性描述範例。使用者可直接輸入掃瞄參數以迅速執行作業,並客制化自己所需的應用。

圖 6.LabVIEW 圖形化程式設計環境中的 IV 曲線追蹤範例
結論
單一 NI PXI-4130 Power SMU 儀器即可量測裝置並描述特性,極適用於 IV 特性描述應用。然而,NMOS 電晶體的特性描述作業,僅代表部分的 NI 儀器功能。除了可供應低電流並進行量測之外,精確的 NI PXI 儀器亦可用於多種應用,如測試洩漏電流,或量測半導體檢驗的電壓強度與功率牽引 (Power draw)。再以 LabVIEW 圖形化程式設計環境整合相關硬體,即建構可擷取、分析,並呈現資料的高端工具。若需進一步資訊,則可參閱:
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